项目

基本参数

设备名称

Spin Coater
、涂布面、匀胶机

、甩胶机、旋涂仪

设备用途

匀胶

操作模式

半自动或手动模式

设备构成

由洁净高纯材料板

、海外部件


、净化过滤组件、泵浦阀件
、气路压力表件
、废液装置等构成；

设备参数

◎ 主体采用优质PP\PVDF\PVC\SUS等洁净材料及配件实行施工工艺；

◎ 根据用户环境不同设计合理的(包括台式、嵌入式
、手套箱式)方案
；

◎ 适合于4-8英寸晶圆工艺自动点胶系统或手动移液枪滴液
，人机界面控制
；

◎ 工业伺服电机系统
，满足工业化生产要求可选去边
、背洗


、温控循环系统底部排液；

◎ 转速可调范围:20-10000rpm
；

◎ 加减速度可调范围:0-50000rpm/s转速精度:±1rpm

，更高精度可选最多可升级4路自动点胶功能可存贮100组100步涂胶程序
；

◎ 外型尺寸:1500mm(宽)*1050mm(深)*2100mm(H)；

◎ 系统设计包括洁净新风系统、废液收集系统以及黄光环境等各项指标；

◎ 系统设计去离子水、增压泵浦(可选件)

、CDA或氮气压力端子或管路装置
；

◎ 应用范围：半导体化合物
、集成电路和IC、光伏
、LED
、TFT-LCD

、化工


、光子／光量子

、石化

、科研院所或其他工业用户；

项目

基本参数

设备名称

显影机


、Develop

设备用途

匀胶
、曝光后显影用途

操作模式

半自动或手动模式

设备构成

由洁净高纯材料板、海外部件


、净化过滤组件、泵浦阀件






、气路压力表件、废液装置等构成

；

设备参数

◎ 主体采用优质PP\PVDF\PVC\SUS等洁净材料及配件实行施工工艺；

◎ 根据用户环境不同设计合理的(包括台式




、嵌入式



、手套箱式)方案
；

◎ 适合于4-8英寸晶圆显影工艺




，人机界面控制



；

◎ 摆臂式自动多路显影喷液，去离子水

，吹气功能·可根据不同工艺更换多种显影喷头
；

◎ 转速可调范围:20-10000rpm；

◎ 加减速度可调范围:0-50000rpm/s.转速精度:±1rpm
，可存贮100组100步涂胶程序；

◎ 外型尺寸:1500mm(宽)*1050mm(深)*2100mm(H)；

◎ 系统设计包括洁净新风系统、废液收集系统以及黄光环境等各项指标
；

◎ 系统设计去离子水






、增压泵浦(可选件)、CDA或氮气压力端子或管路装置；

◎ 工业伺服电机系统

，性能稳定


，满足工业化生产要求·可选显影液控温循环系统


，增强工业稳定性·底部排废，顶部抽风功能
；

◎ 应用范围
：半导体化合物、集成电路和IC

、光伏、LED
、TFT-LCD
、化工、光子／光量子
、石化

、科研院所或其他工业用户

；