太阳能光伏行业中的晶圆棒及硅料的切片加工等清洗制作有着相当复杂的工艺流程
，如硅料清洗
、单/多晶硅清洗、扩散前/后清洗、切片后清洗等清洗甩干烘干、储存备用

。
         太阳能硅晶片其中的清洗流程
，硅晶片生产工艺当中
，有超过20%以上部分都涉及到清洗


，这个工艺主要流程从切片开始
，然后进行脱胶，切片完了剥离，现在人工插槽方式插入花篮中


，然后进入关键的超声清洗部分，我们各种各样清洗的应用主要的是插片之后的清洗流程，清洗完了之后经过干燥和检验

，然后进行包装
，然后才能进行太阳能电池片的处理
。清洗这道工序在整个硅晶片生产流程中占的时间并不长

，但这一步非常重要


，如果片子上哪怕只有一个点没有洗干净







，出现了污渍

，整个硅片相当于废片
。所以

，清洗设备要求自动化程度相当高
，无人接触和干预，避免污染和损坏
；同是避免清洗过程中化学药液强腐蚀给人身带来的风险


。

硅片清洗设备/石英管清洗机/石墨清洗机

         我司生产的单晶清洗机
、多晶清洗机
、全自动晶片制绒清洗设备
、全自动太阳能多晶片制绒机
、扩散前清洗机
、全自动硅片扩散后清洗设备
、全自动硅晶片切片后清洗机等工艺成熟，设备PLC自动化程度高
，系统连续运行技术稳定，清洗效率高，自动纠错及超声报警引擎

，红外技术防漏液检测安全保障。电气一体化控制组成
，适用125*125/156*156尺寸,清洗处理量约1500-3300片/小时。

硅片甩干和装片工艺

         在大量投产中硅片加工清洗工艺时存在人工污染和碎片率，我司研发的甩干机和装片机
，能及时热N2干燥处理

，短的时间内实现干燥


，干燥后硅片表面不能留有“水痕”。在装片过程中减少人工污染和碎片率。碎片率少于万分之一
。

CDS供酸系统及管道工艺

         我司专业研发之化学集中供液系统保证持续不间断向湿法晶圆制程清洗设备供给药液

，PLC自动化编程管理系统，彩色超宽液晶触摸屏，实时监控监管药液系统流量、流速
、压力等功能，紧急纠错自锁，在线漏液监测。保证输送流量为：20L/min




，设计当中可提供一备和一用方案，确保系统及时供液和正常运行
。机台外露和部件部分均采用高纯防腐塑料及氟类配件
。

酸雾废排处理工程

酸雾的处理则采用净化塔处理的方法




，一般采用三级净化处理

。 净化塔流程
酸洗通风柜→ 风机→ 淋洗塔→ 净化塔→ 净化塔→ 净化塔→ 排放
废气→玻璃钢风机 →缓冲静压箱→一级高效洗涤塔 → 排风管→二级高效洗涤塔→风管→三级高效洗涤塔 →排放烟囱高度25米→排放
废气收集
：通过吸风装置对废气进行收集
，将污染源废气导入净化系统


，同时防止其向大气扩散





，造成污染



。对废气收集的好坏直接影响到整个净化系统的技术经济效果。
废气吸收：收集的废气通过高效吸收塔洗涤净化
，彻底达到排放要求


。